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ジオマテック<6907>は25日、三井金属鉱業<5706>が開発した、ファンアウト・パネルレべルパッケージ用ガラスキャリア付き微細回路形成用材料「HRDP®」に使用される薄膜の量産技術を確立し、提供していくことを発表した。

「HRDP®」は、ガラスキャリア表面上に多層薄膜を形成した構造でできている。高い平坦性のガラスキャリア上に形成された極薄の「メッキ用シード層」により、超微細なRDLをパネルサイズで形成。「剥離機能層」によって260°Cの熱負荷後でも安定な機械的ガラスキャリアの取り外しが可能である。同社は「HRDP®」に使用される機能性が高い多層簿膜の量産技術を確立し、三井金属に提供する。
同社は、今後も三井金属と共創・協働し、価値ある簿膜と加工技術を提供するプロフェッショナルとして顧客への十分な供給能力を確保していくとしている。


＜MW＞